基于MEMS技术的热式质量流量检测方法及其系统研究

亮 丁(重庆科技学院，中国)

摘要

MEMS 技术是在 IC 集成技术与微机械技术的基础上产生的一种全新的微系统，是一种智能化的微系统技术，不仅仅代指归为硅微加工技术，还是系统芯片的集成形式。利用 MEMS 技术，能够在单个芯片上集成任何数据信息，形成全新的装置，比如：计算系统、化学分析系统、无线系统、质量流量检测系统等，其能够覆盖多个学科，且具有性价比高、性能优异、应用广泛等多种优点，具有良好的发展及应用前景。论文阐述了基于 MEMS 技术的热式质量流量检测研究背景，简要分析了传统质量流量检测方法与 MEMS 技术及其热式质量流量检测方法，对 MEMS 技术的热式质量流量检测系统研究与构建进行深入探究。

关键词

MEMS 技术；热式质量；流量检测；系统研究

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.26549/gcjsygl.v4i1.3348