热场快速降温技术研究与应用

永胜 郭(拉普拉斯新能源技术有限公司研发实验室，中国)
文超 李(拉普拉斯新能源技术有限公司研发实验室，中国)
翱睿 郭(拉普拉斯新能源技术有限公司研发实验室，中国)

摘要

本文针对半导体与光伏行业热场工艺结束后降温缓慢的行业痛点，创新性地提出了一种融合相变换热、涡流抽风机与翅片换热器的快速降温系统。该技术充分利用水汽化过程中释放的巨大潜热，实现了远超传统水冷方式的热量转移效率。实验数据表明，该系统能够显著提升降温速率，将传统自然冷却的2~3°C/min提升至8~25°C/min，工艺冷却时间缩短60%~80%，从而大幅提升生产效率与设备利用率

关键词

热场降温；快速冷却；相变换热；潜热；半导体制造；光伏产业

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