高精度半导体厂房暖通空调系统浅析

明众 刘(四川爱德中创建设工程有限公司，中国)

摘要

随着半导体行业的迅速发展，半导体厂房的建设需求不断增加。在高精度半导体厂房中，温湿度控制与空气洁净度要求极为严格，尤其是暖通空调系统（HVAC系统）的设计与运维对半导体生产环境的影响至关重要。论文首先分析了高精度半导体厂房中暖通空调系统的基本要求与设计特点，探讨了HVAC系统在半导体生产中的应用，并针对其面临的技术挑战提出了一些优化措施。最后，提出了未来暖通空调系统的改进方向，以提高系统的可靠性、节能性和环境适应性。

关键词

半导体厂房；暖通空调系统；温湿度控制；空气洁净度；节能优化

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.12345/gcjsygl.v8i15.22493