一种新型静电谐振式加速度计的研究与开发

岱 黄(重庆科技学院机械与动力工程学院，中国)
铠 魏(重庆科技学院机械与动力工程学院，中国)
文 孙(重庆科技学院机械与动力工程学院，中国)
嘉乐 陈(重庆科技学院机械与动力工程学院，中国)

摘要

静电力显微镜（Electrostatic Force Microscopy，简称EFM）是一种利用原子之间的静电力来作为媒介，通过静电力的表现来反应物体的形貌以及成像的一种显微镜技术。它主要是通过探针在样品上面沿着轨迹运行，同时探针与样品之上都携带电荷，通过他们两个之间的静电力作用，可以很好地表现样品的电荷变化情况以及静电力的变化情况，同时也可以很好地表现出样品表面的电势能以及电荷分布情况还可以表征出电荷分布情况的一种显微镜技术。

关键词

静电力显微镜；探针；形貌；谐振；加速度计

参考

王洪喜,贾建援,赵剑.扫描探针针尖与试样间的静电力分析与建模[J].计算物理,2006(3):371-374.

王志勇,张鸿海,鲍剑斌,等.扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术[J].电子显微学报,2001(3):232-237.

王志勇,鲍剑斌,张鸿海,等.基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术[J].电子显微学报,2001(5):664-668.

DOI: http://dx.doi.org/10.26549/bdai.v3i4.11946