侧壁设计对双环栅场效应晶体管电热性能的研究

徐国 章(上海电力大学，中国)
洁 许(上海电力大学，中国)

摘要

研究了侧壁设计对双环栅场效应晶体管电热特性的影响。结果表明，单层氧化铝侧壁设计能够较大地改善双环栅器件的自热效应和本征栅延迟（τ）。相比于双层侧壁，单层氧化铝侧壁的开态电流（ION）仅下降了3.7%，而其热阻（Rth）与τ分别改善了9.76%和16.6%。

关键词

侧壁设计；双环栅；自热效应；本征栅延迟

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.12345/gcjsygl.v6i3.10245