硅片清洗方法及硅片清洗设备的研发讨论

海军 高(浙江海纳半导体股份有限公司，中国)

摘要

由于高新技术的蓬勃发展，对镶嵌式集成电路的应用也日益增多，对其加工生产技术要求也日益严格。硅片是镶嵌式集成电路的主要配件，在实际应用过程中，为改善嵌入式集成电路制造工序，提高其应用效益，需要对硅片进行清洗。所以，深入研究并探讨硅片清洗方法和开发硅片清洗设备，是提升半导体收音机工艺效益的关键。论文重点针对硅片清洗方法和硅片清洗设备展开分析与研讨，期望可以对硅片清洗提出更多的借鉴建议。

关键词

硅片；清洗方法；清洗设备

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.12345/gcjsygl.v7i4.12325