硅片抛光工艺中机电一体化控制系统的设计与应用

锋 陈(浙江众晶电子有限公司，中国)

摘要

论文旨在探讨硅片抛光工艺中机电一体化控制系统的设计与应用，以提高抛光过程的效率和精确度。针对硅片抛光工艺的特殊性，设计了一套机电一体化控制系统，集成了精准的传感器、先进的控制算法以及高效的执行器。系统以实时反馈为基础，通过精密的数据分析和控制策略实现对抛光参数的动态调整。设计的机电一体化控制系统在硅片抛光工艺中取得显著成果。实验结果表明，系统能够有效地控制抛光厚度和表面粗糙度，提高了抛光的均匀性和稳定性。本研究成功设计并应用了一套机电一体化控制系统，有效提高了硅片抛光工艺的控制精度和效率，为类似工艺的自动化与智能化提供了有益的参考和借鉴。

关键词

硅片抛光；机电一体化；控制系统；精度；效率

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.12345/gcjsygl.v8i1.15415