机电一体化控制系统在硅片抛光工艺中的应用与效果评估

红卫 江(浙江海纳半导体股份有限公司，中国)
雄杰 吴(浙江海纳半导体股份有限公司，中国)
国梁 杨(浙江海纳半导体股份有限公司，中国)

摘要

论文以机电一体化控制系统为基础进行了探讨，对其在硅片抛光过程中的应用及效果评估。设计了相应的控制方案，并结合硅片抛光的工艺流程和要求，通过分析机电一体化控制系统的原理和特点进行了评估。评估结果显示，在硅片抛光过程中，机电一体化控制系统可有效提高抛光质量和生产效率，降低能耗，降低人工成本，应用前景和经济效益均较好。

关键词

机电一体化控制系统；硅片抛光；工艺优化；效果评估

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.12345/gcjsygl.v8i9.19661