试析大型12英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制

语 吴(合肥长鑫集成电路有限责任公司，中国)

摘要

大型 12 英寸晶圆厂的建设，为中国社会各领域提供了丰富的晶圆产品，满足了半导体芯片的制作需求。尤其是随着中国科学技术水平的提升，传统小规模 6 英寸晶圆厂体现出一定的局限性，只有加快大型 12 英寸晶圆厂的建设，才能逐步扩大生产规模，促进生产效率与质量的提升。特气系统是晶圆厂中的重要组成部分，确保其安全、稳定运行，对于生产工作而言具有重要意义。因此，应该在工作中加强维护管理与运行质量控制。论文通过分析大型 12 英寸晶圆厂特气系统的构成，探索大型 12 英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制措施。

关键词

大型 12 英寸晶圆厂；特气系统；维护；质量控制

参考

赵华亮 , 孙江龙 , 张涛 , 马伟 , 李北文 , 胡继勇 . 南京台积电 12 英寸晶圆厂逆作法施工关键技术 [J]. 施工技术 ,2019,48(10):36-39.

李全朕 . 特殊气体供应系统概述 [J]. 电子世界 ,2017(23):69-70.

唐代飞 , 刘扬洪 . 小规模 6 英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制 [J]. 科技创新与应用 ,2017(11):71.

李建辉 , 张宁 , 李爽 , 许浩宾 . 浅谈特气的安全运行与管理 [J]. 中国新技术新产品 ,2017(06):145-147.

付春霞.半导体晶圆厂气体监控系统设计[D].大连理工大学,2014.

杨 敏 杰 . 特 种 气 体 输 送 系 统 安 全 运 行 探 讨 [J]. 广 州 化工 ,2012,40(11):239-241.

DOI: http://dx.doi.org/10.26549/gcjsygl.v4i3.3713