半导体制程中石英舟的先进制备工艺研究

锋 兰(浙江泓芯新材料股份有限公司，中国)
涛 郑(浙江泓芯新材料股份有限公司，中国)
建斌 李(浙江泓芯新材料股份有限公司，中国)
寿合 冯(浙江泓芯新材料股份有限公司，中国)
冬华 许(浙江泓芯新材料股份有限公司，中国)

摘要

本研究针对半导体制造过程中石英舟的先进制备工艺进行了系统性的探讨和优化。首先研究了石英材料的高纯度、低热膨胀系数、透明性和化学稳定性等特性。在设备选择方面，采用了CO2激光器、紫外激光器和光纤激光器，分别适用于高效切割、高精度微细加工和表面处理。在实际生产中，应用了自主知识产权的组立模具，解决了石墨块和垫片易移位的问题，提高了搭接精度和效率，降低了次品率。这些创新技术的应用提高了石英舟的性能和生产效率，为半导体制造等行业的发展提供了有力支持。

关键词

半导体；石英舟；制备工艺

参考

刘思.新型蒽衍生物半导体材料的设计合成与性能研究[D].天津:天津大学,2021.

左政,侯洁娜,王珺,等.石英部件在半导体领域应用及市场概览[J].中国集成电路,2023,32(6):30-35.

刘峰.基于半导体工艺的高基频小尺寸石英晶片关键技术及产业化[P].广东省,广东惠伦晶体科技股份有限公司,2021-12-22.

DOI: http://dx.doi.org/10.12345/hgyjxjz.v2i10.21524