基于 MEMS 技术的微型压力传感器研究

维 张(四川信息职业技术学院，中国)

摘要

本研究深入探讨了基于MEMS技术的微型压力传感器，涵盖了从设计原理到制造工艺的全面分析。论文详细阐述了MEMS技术在压力传感器微型化过程中的关键作用，探讨了传感器设计中的材料选择、结构优化及性能参数调控。同时，对制造工艺中的关键技术进行了深入剖析，包括光刻、蚀刻、沉积等核心工艺。此外，论文还对微型压力传感器的应用领域和市场前景进行了全面评估，为该领域的未来发展提供了有价值的参考。

关键词

MEMS技术；微型压力传感器；设计优化

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.12345/hgyjxjz.v2i11.21921