新型磁悬浮直线电机精密运动控制与扰动抑制技术研究

志扬 高(秦皇岛排水有限责任公司，中国)

摘要

磁悬浮直线电机因无接触驱动、摩擦小和高速响应等优势，被广泛应用于半导体制造、精密测量与高速定位系统。然而电磁驱动结构使其对外界扰动、参数时变、载荷波动和电磁耦合极为敏感，高精度控制难度显著增加。工程实践中，模型不确定性、扰动来源复杂及悬浮与驱动耦合等问题使传统控制方法难以满足高性能要求。本研究围绕电磁力特性、耦合机理与载荷变化建立系统动力学模型，通过多传感器融合实现状态识别。仿真与实验表明，该策略可显著提升系统稳态精度、动态响应与抗扰动性能，对高端装备中磁悬浮直线电机的应用具有工程价值。

关键词

磁悬浮直线电机；精密运动控制；扰动抑制；电磁耦合

参考

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DOI: http://dx.doi.org/10.12345/hgyjxjz.v4i3.37698